离子清洗机(等离子清洁器)，又称等离子清洁器，或等离子表面处理器，是一种全新的高科技技术，利用等离子达到常规清洁方法达不到的效果。等离子体是物质的一种状态，又称物质第四态，不属于常见的固、液、气三态。当足够的能量施加到气体上使其电离时，它就变成等离子体状态。等离子体的“活性”成分包括:离子、电子、原子、活性基团、激发态(亚稳态)核素、光子等。等离子清洗剂就是利用这些活性成分的性质对样品表面进行处理，从而达到清洗和镀膜的目的。
离子清洗机的结构主要分为三部分:控制单元、真空室、真空泵。对以下三个部分进行陈述:
离子清洗机
一.控制单元
国产离子清洗机，包括进口的，有四个控制单元:半自动控制、全自动控制、PC控制、LCD触摸屏控制。
控制单元分为两个主要部分:
1)电源:电源频率主要有三种，分别是40KHz、13.56MHz和2.45GHz，其中13.56MHz需要电源适配器。
2)系统控制单元:有按钮控制(半自动和全自动)、电脑控制和PLC控制(液晶触摸屏控制)三种。
二、真空室:
真空室主要由两种材料制成:
1)不锈钢真空室。
2)应时腔。
三。真空泵:
真空泵有两种类型:
1)干式泵。
2)油泵。
