其实蚀刻机和光刻机是两个完全不同的设备，在功能和结构上完全不同。光刻机是整个芯片制造过程中最重要的器件，芯片工艺是由光刻机而不是蚀刻机决定的。如下所示:
1.工作原理
如果把做芯片比作盖房子的话，光刻机的作用就是在地上标出房子的结构。蚀刻机是光刻完成后登场的设备，也是光刻完成后最重要的设备之一。蚀刻机的主要作用是根据光刻机中的标记线做基础施工，去掉不需要的地方，只留下光刻过程中的标记线。
光刻机相当于画师，
蚀刻机是雕刻师。前者在硅片上投射出精细的电路图(就像相机给胶片感光一样)，后者根据这个图刻出线条(就像刻印章一样，蚀刻掉不必要的部分)。
蚀刻机
2.结构
光刻机最重要的核心技术是光源和光路，主要部件是光源、曝光、探测等高精度机械。相比之下蚀刻机的结构就简单多了，主要由等离子射频源、反应室和真空气路组成。
3.卖价
光刻机的价格很高，蚀刻机的价格要低很多。
4.过程
蚀刻机蚀刻硅片多余的部分，光刻机蚀刻硅片上的图案。
5、难度
光刻机的难度和精度都大于蚀刻机。
