离子清洗机的工作原理
电浆与原材料表面可形成的反映关键有二种，一种是靠自由基来做化学反应，另一种则是靠低温等离子作物理反应，下列将作更详尽的表明。
（1）
离子清洗机化学反应
在化学反应里常见的汽体有氡气（H2）、O2（O2）、甲烷气体（CF4）等，这种汽体在电浆内反映成基酶的自由基，其表达式为这种自由基会进一步与原材料表面作反映。
其反映原理主要是运用等离子体里的自由基来与原材料表面做化学反应，在工作压力较高时，对自由基的造成较有益，因此若想以化学反应为主导时，就务必操纵较高的工作压力来近开展反映。
离子清洗机的工作原理
（2）
离子清洗机物理反应
离子清洗机主要是运用等离子体里的离子作纯物理学的碰撞，把原材料表面的分子或粘附原材料表面的分子做掉，因为离子在工作压力较低时的均值自由基比较轻长，有得动能的积累，因此在物理学碰撞时，离子的动能越高，越发有的作碰撞，因此若想以物理反应为主导时，就务必操纵较的工作压力出来开展反映，那样清洗实际效果不错，为了更好地进一步表明各种各样机器设备清洗的实际效果。
等离子体清洗机的原理，主要是借助等离子体中活力颗粒的“活性功效”做到除去物件表面污垢的目地。就反映原理看来，等离子体清洗通常包含下列全过程：有机物汽体被激起为等离子态；气相色谱化学物质被粘附在固态表面；被吸咐官能团与固态表面分子结构反映转化成物质分子结构；物质分子结构分析产生气相色谱；反映残余物摆脱表面。
等离子体清洗技术性的最大的特征不分解决目标的板材种类，均可开展解决，对金属材料、半导体材料、金属氧化物和大部分纤维材料，如聚丙稀、聚酯、聚丙烯腈、聚氯乙烷、环氧树脂、乃至聚四氟乙烯等都能有效地解决，并可完成总体和部分及其繁杂构造的清洗。
等离子体清洗还具备下列一些特性：非常容易选用数控加工技术，自动化技术水平高；具备精度高的调节设备，時间操纵的精密度很高；恰当的等离子体清洗不容易在表面造成损害层，表面品质获得确保；因为是在真空泵中开展，不环境污染，确保清洗表面不被二次污染。
