是什么在影响
蚀刻生产线的生产速度
一般可通过更改溶液浓度值及环境温度给予操纵,溶液浓度值可更改反映化学物质抵达及离去待蚀刻物表面的速率,一般而言,当溶液浓度值提升时,蚀刻速率可能提升。而提升溶液环境温度可加快化学变化速率,从而加快蚀刻速率。
是什么在影响蚀刻生产线的生产速度
除开溶液的采用外,选取适合的屏蔽掉化学物质也有可能危害蚀刻生产流水线的蚀刻速率,需要注意的是,它需要与待蚀刻原材料表面有不错的粘合力、并能承担蚀刻溶液的腐蚀且平稳且不质变。而光阻一般是一个很好一点的防辐射材料,且因为其图案设计转印纸流程简易,因而常被运用。但应用光阻做为防辐射材料时也会产生边沿脱离或开裂的情况。边沿脱离乃因为蚀刻溶液的腐蚀,导致光阻与基材间的黏着性下降而致。化解的方式则可应用粘着硫化促进剂来提升光阻与基材间的黏着性,如HMDS。开裂则是由于光阻与基材间的地应力差别很大,缓解开裂的办法可借助较具弹力的屏蔽掉材料来消化吸收二者间的地应力差。
蚀刻化学变化情况下所造成的汽泡经常导致蚀刻的不均匀度,汽泡留滞于基材上阻止了蚀刻溶液与待蚀刻物表面的触碰,将促使蚀刻速率减缓或停滞不前,直至汽泡离去基材表面。所以在这样的情况下会到溶液中添加一些金属催化剂提高蚀刻溶液与待蚀刻物表面的触碰,请在蚀刻情况下予于搅拌以加快汽泡的摆脱。