(1)FeCl3浓度对蚀刻速度的影响:随着FeCl3蚀刻液中FeCl 3浓度的增加，蚀刻速度增加。当FeCl3含量超过一定浓度时，由于
蚀刻机溶液粘度增大，腐蚀速率降低。对于使用防腐印刷材料或防腐干膜的铜件，浓度可控制在35波美度左右；铜质零件使用液态光刻胶(如骨胶、聚乙烯醇等。).浓度控制在42波美度左右。一般情况下蚀刻机药箱internal药水的浓度为350g/L-600g/L
溶液浓度对蚀刻机有什么影响
(2)盐酸用量对蚀刻机腐蚀速率的影响:在腐蚀机中加入盐酸可以抑制FeCl3和CuCl2的水解；其次，可以提高蚀刻速度。特别是当蚀刻液中的铜含量达到37.4g/L时，盐酸的作用更加明显。但应根据不同的抗蚀剂材料选择合适的酸度。如果选用骨胶、明胶、聚乙烯醇等光刻胶层做抗蚀剂，则不宜使用过高的酸度，否则容易破坏抗蚀剂。对于光敏树脂抗蚀剂和丝网印刷抗蚀剂，可以选择更高的酸度。
(3)温度对刻蚀速率的影响:在FeCl3刻蚀过程中，随着温度的升高，工件在蚀刻机中的腐蚀速率明显加快。例如，在50℃下，新蚀刻液对铜的蚀刻速率可达10μm/min。但在实际生产中，采用的是常温蚀刻法。FeCl3对铜的蚀刻是放热反应。随着蚀刻的进行，蚀刻机 medium 药水的温度会逐渐升高，蚀刻速度会加快。随着FeCl3的消耗，蚀刻速率也会降低。同时这个加热过程比较慢，所以在整个蚀刻过程中蚀刻速度变化不大。
