精密蚀刻的精度和侧蚀
在
精密蚀刻的过程中，除了不做任何防腐处理的整体蚀刻法，一定要注意防腐层下蚀刻的“蔓延”问题，也就是通常所说的侧面蚀刻。侧蚀的大小直接关系到图文的准确性和蚀刻线条的极限尺寸。通常，抗蚀剂层下水平方向上的蚀刻宽度A被称为侧蚀刻量，侧蚀刻量A与蚀刻深度H的比值是侧蚀刻速率F:
精密蚀刻的精度和侧蚀
F=A/H
式中：A为侧蚀刻量(mm)，H为精密蚀刻深度(mm)；F为侧蚀刻率或腐蚀因素；f是侧蚀率或腐蚀因子，用来表示不同条件下侧蚀量与腐蚀深度的关系。
上述arc R受蚀刻深度、蚀刻窗口的最小宽度与蚀刻深度的比率、蚀刻溶液的成分、蚀刻方法和材料类型的影响很大。侧面蚀刻的量决定了化学蚀刻的精度。侧蚀量越小，加工精度越高，适用范围越广。反之，加工精度低，应用范围小。
侧蚀量主要受金属材料的影响。在几种常用的金属材料中，铜的侧蚀最小，铝的侧蚀最大。选择较好的腐蚀剂，虽然腐蚀速度不明显，但可以改善金属精密蚀刻的侧蚀。
