精密蚀刻过程中影响侧蚀的具体因素有哪些?让小编给你简单介绍一下,让我们一起来了解一下吧!
1.
精密蚀刻方法:浸泡和气泡蚀刻会造成显著的侧蚀,而飞溅和喷雾蚀刻造成的侧蚀较少,喷雾蚀刻效果更好。
2.蚀刻液的种类:不同的蚀刻液化学成分不同,蚀刻速率和精密蚀刻系数也不同。一些研究结果表明,基于硝酸的精密蚀刻处理系统的分析可以实现几乎没有侧蚀,直到精密蚀刻的线路侧壁几乎是垂直的。
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精密蚀刻中影响侧蚀的具体因素
3.蚀刻速度:蚀刻速度太慢会造成严重的侧面腐蚀。精密蚀刻质量的提升和精密蚀刻速率的提升有很大的关系。蚀刻速度越快,板材在蚀刻液中停留的时间越短,侧面蚀刻量越小,精密蚀刻的图形清晰整齐。
4.蚀刻液的PH值:碱性蚀刻液的PH值越高,侧向侵蚀越大。
5.蚀刻液密度:低密度碱性蚀刻液会加剧侧蚀,选择铜浓度高的蚀刻液有利于减少侧蚀。
6.铜箔厚度:建议使用(超)薄铜箔,实现侧蚀薄导体的精密蚀刻,线宽越细,铜箔厚度越薄。因为,铜箔越薄,在蚀刻液中的时间越短,侧蚀量越小。